一、电极材质纯度要求
金属离子溶出限制
超纯水兼容性:电极材质需满足ASTM E1-11标准,金属离子溶出量<0.1ppb(如钛Ta2O5涂层或铂金电极);
表面粗糙度:Ra≤0.2μm,减少微观孔隙吸附杂质。
材质选择
惰性金属:优先选用316L不锈钢(电解抛光)或哈氏合金C-276,避免铜、锌等易溶出金属;
绝缘涂层:聚四氟乙烯(PTFE)或氧化铝陶瓷涂层,隔离电极与介质直接接触。
二、避免电极污染的措施
结构设计
非接触式测量:采用电容耦合技术,电极与介质间通过绝缘层(如蓝宝石)隔离,避免物理接触;
自清洁功能:集成超声波振动模块(频率40kHz),周期性清除电极表面吸附层。
工艺控制
洁净装配:电极在Class 100无尘室中封装,避免组装污染;
惰性气体保护:传感器腔体充填高纯氮气(纯度≥99.999%),防止氧化。
00:02 断电断水防风险
00:13 定位泄漏源
00:28 分级修复
三、验证与维护
定期校准:使用在线电阻率仪(如Mettler Toledo)监测介质纯度变化,偏差>0.5MΩ・cm时触发报警;
电极寿命:建议每12个月更换一次,或根据溶出检测结果(ICP-MS分析)决定。
通过上述措施,可确保电容式射频导纳物位计在超纯水系统中长期稳定运行,同时维持介质的高纯度要求。